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诺发推出300mmVECTOR等离子增强化学气相沉积平台的最新增强版本

发布时间:2020-07-21 18:13:19 阅读: 来源:冷拔扁钢厂家

中国上海—诺发系统有限公司正式推出VECTORExpress™新产品。VECTORExpress™是诺发公司300mmVECTOR等离子增强化学气相沉积(PECVD)平台的最新增强版本。VECTORExpress的工艺生产速度提高了40%,保持了业界领先的生产效率。此外,VECTORExpress还建立了薄膜工艺性能的新标杆,使该设备能够被延伸到45nm及以下工艺节点。 VECTORExpress之所以能够显著提高生产效率和改善薄膜工艺性能,其关键在于SmartSoak™工艺新特点。SmartSoak采用了诺发VECTOR平台独特的多平台顺序处理(MSSP)结构,使晶圆加热和薄膜淀积过程相互独立开来。通过这种方法可以使晶圆温度在薄膜开始沉积时变得更加稳定和一致,同时还能够缩短薄膜沉积的时间。 客户评估结果显示,将具备SmartSoak技术的VECTORExpress系统用于500ÅTEOS薄膜沉积时,0.08um大小的微粒缺陷水平是所有类似产品中最低的。进行40Å栅侧壁氧化膜沉积时,薄膜厚度控 制水平在1个原子层之上,表明该系统在晶圆内部以及晶圆与晶圆之间的薄膜厚度控制上具有非常出色的可重复性表现。 除了SmartSoak之外,VECTORExpress还采用了高精度和高速度的机械传送零部件和晶圆自动监测技术,使晶圆机械传送和处理时间缩短了20%以上。此外,VECTORExpress还采用了先进的材料传输新技术,进一步确保该系统能够被拓展到各种薄膜沉积工艺中。 自从于2006年第3季度开始进行beta测试以来,诺发已经收到了20多份有关VECTORExpress系统的订单,其中包括好几个新客户。VECTORExpress将于2007年第2季度正式用于生产。

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